99信息网 > 跳蚤市场 > 工程机械

NRL180A爱发科干式真空泵

发布:2020年10月23日编号:2046-2217908
99信息网提醒您:1、在办理服务前请确认对方资质, 夸大的宣传和承诺不要轻信!2.任何要求预付定金、汇款至个人银行账户等方式均存在风险,谨防上当受骗!
详细描述

NRL180A爱发科干式真空泵


品牌:爱发科(ulvac)
型号:NRL180A
抽速 (50 Hz):200 L/min
抽速 (60 Hz):240 L/min
极限压力 Pa:5
电机额定功率:7.5 kw


特长

NRL系列在低温领域下的均热化XBiC。除PVD工艺外,尤其适用于希望提高流量,缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。

低噪音、低振动

优良的耐腐蚀性

标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理,降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度www.99xinxi.net99信息网

选购件

可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。


用途

•   活性气体(CVD、刻蚀等)9~9~信~息~网

•   排出非活性气体(溅射镀膜、   蒸气镀膜、热处理、液晶注入等)。

•   用于产生粉尘工艺中的排气(Si单晶炉等)

•   作为前级泵使用(涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵)9_9_信_息_网

•   冷冻干燥等水蒸气排气。


技术参数

NRL180A爱发科干式真空泵 技术参数


* 1   极限压力是氮气(密封气体)在5.0 SLM时的值9.9.x.i.n.x.i.n.e.t
* 2   无结露。
* 3   用调节阀所调整的压力表的值9~9~x~i~n~x~i~n~e~t
* 4   氮气(密封气体)流量5.0 SLM是固定值。



外形尺寸图

NRL180A爱发科干式真空泵 尺寸图


抽速曲线图

NRL180A爱发科干式真空泵 抽速曲线图


展开更多描述 ↓
展开更多图片 ↓
shfyzk 注册时间:2020年10月20日
该用户还发布了
精选信息
热门信息
在线留言 发送短信 拨打电话