NRL180A爱发科干式真空泵
| 爱发科(ulvac) |
| NRL180A |
| 200 L/min |
| 240 L/min |
| 5 |
| 7.5 kw |
特长
NRL系列在低温领域下的均热化XBiC。除PVD工艺外,尤其适用于希望提高流量,缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
低噪音、低振动
优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理,降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度www.99xinxi.net99信息网。
选购件
可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
用途
• 活性气体(CVD、刻蚀等)9~9~信~息~网。
• 排出非活性气体(溅射镀膜、 蒸气镀膜、热处理、液晶注入等)。
• 用于产生粉尘工艺中的排气(Si单晶炉等)
• 作为前级泵使用(涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵)9_9_信_息_网。
• 冷冻干燥等水蒸气排气。
技术参数

外形尺寸图

抽速曲线图



